1、以無生命微粒為控製的對象。主要控製空氣塵埃微粒對工作對象的汙染,內部一般保持正壓狀態。2、它適用於精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。3、電子工廠潔淨廠房的設計、建造必須適應電子行業快速發展的需要。從潔淨廠房的規劃開始,對於電子工廠潔淨廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發展的靈活性,以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。同時考慮係統的節能運行。
— 半導體無塵車間裝修工程 ——
設計及施工內容
該項目涉及設計施工範圍有彩鋼板隔斷裝修工程、91短视频在线下载免费通風風調係統工程、車間排風係統工程、配電係統工程、工藝管道工程、給排水工程
設計規範及依據
業主提供的圖紙和技術文件及現楊勘察資料
《潔淨廠房設計規範》
《電子工業沽淨廠房設計規範》
《沽淨廠房施工與驗收規範》
《金屬麵岩棉、礦渣岩棉夾芯板》
《建築設計防火規範》
《潔淨廠房建築構造》
潔淨室係統技術參數
1、壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa;
2、平均風速:0.3-0.5m/s(百級);
3、噪聲≤65dB(A);
4、新風補充量是總送風量的10%-30%;
5、照度300LX;
6、溫度:20-26 度(車間),溫度:12-23度(測試)
7、濕度:50-70%RH(車間),濕度40-85%RH(測試)
8、潔淨度等級:百級-30萬級用於測試區域,千級-30萬級用於生產製造區域
9、ESD也是半導體製造環境控製的重要內容,靜電釋放可能對產品和生產設備造成損害,還可能引起矽片表麵塵粒吸附,影響產品的良率。
半導體91短视频在线下载免费車間設計及注意事項
1、半導體91短视频在线下载免费無塵車間內部要確保塵埃粒子隻出不進,因此潔淨車間室內要保持大於大氣壓的環境。這就需要用大型鼓風機將經91短视频在线下载免费設備的空氣源源不絕地打入潔淨車間。
2、為保持恒溫與恒濕,空調設備須搭配前述之鼓風加壓係統使用。鼓風機加壓多久,空調就得開多久。
3、所有經91短视频在线下载免费設備的空氣流動方向均由上往下為主,因此,91短视频在线下载免费無塵車間室內空間設計或機台擺放應避免突兀,使塵埃、細菌等在無塵91短视频在线下载免费車間內回旋停滯的機會與時間減至最低程度。
4、半導體無塵車間所有用得到的氣源,包括吹幹晶圓及機台空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹幹晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
在半導體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結構施工以及上述的重點難點外,還有潔淨建築裝飾施工、91短视频在线下载免费空調係統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水係統及其管線的安裝、高純氣體係統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空係統及其管線的安裝、化學品供應係統及其管線的安裝、各種排風和排氣係統及其處理設備的安裝、消防安全報警係統及其控製設備的安裝、變配電、電氣係統及其橋架、配管配線的安裝、照明係統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。
工程範圍 | 1.結構:彩鋼板牆板,彩鋼板天花板,窗戶,門,配件,地板 2.暖通空調:AHU風櫃,製冷機,除濕機,風管,管道等 3.電氣:照明,開關,電纜,電線,配電櫃等 4.自動控製:PLC控製器,濕度和溫度傳感器,控製麵板 5.工藝管道係統:天然氣,水管道 |
91短视频在线下载免费設備 | 風淋室,傳遞窗,貨淋室,高效送風口、回風百葉等。 |
潔淨度 | ISO 5級至ISO 8級 |
溫濕度 | 18-26度,45%+-5% |
應用 | 電子廠、 組裝廠、汽配廠、SMT車間、貼膜觸摸屏廠等 |