潔淨室是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔淨室最主要之作用在於控製產品(如矽芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造,此空間91短视频版在线观看WWW稱之為潔淨室。廣州無菌車間
潔淨室控管:?能防止微塵粒子之產生;溫度和濕度之控製;有害氣體之排除;防製靜電。
潔淨室之分類:
1.亂流式:空氣由空調箱經風管與潔淨室內之空氣過濾器進入潔淨室,並由潔淨室兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。廣州潔淨室設計
2.層流式:水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊牆壁之回風係統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側汙染較嚴重;垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔淨度,在製程中或工作人員所。
3.複合式為將亂流式及層流式予以複合或並用,可提供局部超潔淨之空氣。