潔淨實驗室平麵設計規劃布局按照潔淨區、準潔淨區和輔助區三個區域的位置不同進行劃分規劃，可分為外廊環繞式、內廊式、兩端式、核心式。

外廊環繞式的外廊可以有窗和無窗，兼作參觀和放置一些設備用，有的在外廊內設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。

內廊式：潔淨室設在外圍，而走廊設在內部，這種走廊的潔淨度級別一般都較高，甚至和潔淨室同級。

兩端式：潔淨區設在一邊，另一邊設準潔淨和輔助用房。

核心式：為了節約用地、縮短管線，可以潔淨區為核心，上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來，這種方式避開室外氣候對潔淨區的影響，減少了冷熱能耗，利於節能。